半導(dǎo)體超純水設(shè)備：DI水（超純水）的測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)
【蘭州純水設(shè)備http://m.smarts-edu.cn】對(duì)于DI水的測(cè)試，需要精密的儀器和受控制的環(huán)境，如需要達(dá)到一定級(jí)別的無塵環(huán)境，專門的實(shí)驗(yàn)室等。不過大多數(shù)公司不可能投資巨額的資金去做該測(cè)試，將DI水送到有資格的外部實(shí)驗(yàn)室進(jìn)行測(cè)試是一個(gè)可以考慮的做法。下面的內(nèi)容就DI水的常用測(cè)試項(xiàng)目和方法做簡(jiǎn)單的介紹：
1、純水設(shè)備電阻率測(cè)試(Resistivity test )
該測(cè)試要求DI水需要處于溫度在25攝氏度狀況下，多數(shù)情況下工廠可以在線監(jiān)控該項(xiàng)測(cè)試，即可以在DI水的出水端安裝一個(gè)電阻測(cè)試儀器，可以隨時(shí)記錄數(shù)據(jù)的變化。除了在線監(jiān)控外，也可以送到實(shí)驗(yàn)中心進(jìn)行測(cè)試。測(cè)試結(jié)果的判定可以根據(jù)產(chǎn)品的要求而定。如在電腦的磁頭工廠，DI水是直接用來清洗產(chǎn)品的，所以要求非常高，一般要求在15---18MΩ?cm之間。測(cè)試方法是根據(jù)美國(guó)材料實(shí)驗(yàn)協(xié)會(huì)的標(biāo)準(zhǔn)（ASTM）。
2、蒸發(fā)后殘留物測(cè)試（Residue after evaporation test）
該測(cè)試是監(jiān)控DI水殘留物含量的測(cè)試，結(jié)果評(píng)估是看每升水中有多少ug殘留物(ug/L)，其依據(jù)是根據(jù)ASTM D5462 /F1094進(jìn)行控制。
3、細(xì)菌測(cè)試（Bacteria test）
該測(cè)試監(jiān)控DI水中微生物的含量，表面上我們看到的是一杯非常透明的干凈的水，其實(shí)在水里面有很多微生物的存在，相對(duì)來說，DI水中的微生物會(huì)比我們飲用的自來水中少很多，因?yàn)?span>DI水的生產(chǎn)流程經(jīng)過了多次過濾、消毒、紫外線殺菌等等過程。做該測(cè)試會(huì)耗時(shí)較長(zhǎng)，具體做法是使用培養(yǎng)皿對(duì)DI水進(jìn)行細(xì)菌培植，到一定的時(shí)數(shù)后再使用放大鏡看DI水中有多少細(xì)菌生長(zhǎng)出來。因?yàn)榧?xì)菌需要養(yǎng)料才能生長(zhǎng)，該測(cè)試就是根據(jù)該原理來測(cè)試細(xì)菌的數(shù)量。其判定結(jié)果是觀測(cè)在100ml水中有多少個(gè)細(xì)菌，需要觀測(cè)出不同大小的數(shù)量。
4、純水設(shè)備液態(tài)塵粒測(cè)試（LPC test）
該測(cè)試是監(jiān)控DI水中一定粒徑下粒子的含量，一般控制每毫升中離子的個(gè)數(shù)（個(gè)/ml）。該測(cè)試是DI水非常重要的一個(gè)測(cè)試，也是監(jiān)控DI水的必測(cè)項(xiàng)目。在污染控制領(lǐng)域，一般對(duì)0.5um粒徑的粒子的個(gè)數(shù)進(jìn)行嚴(yán)格控制，如在電腦磁頭行業(yè)的公司，一般標(biāo)準(zhǔn)控制在1000個(gè)/ml。不過到底定什么樣的標(biāo)準(zhǔn)，可以根據(jù)產(chǎn)品特性來對(duì)DI水的LPC做出限制，一般實(shí)驗(yàn)可以測(cè)試小到0.1um 到350um的粒徑。該測(cè)試方法是根據(jù)ASTM D4327/5542條款盡心操作。
5、硅油總量測(cè)試（Total Silica test）
在多數(shù)的高科技產(chǎn)品生產(chǎn)中，對(duì)硅油是必須作出嚴(yán)格控制的，因?yàn)楣璨牧系姆肿犹匦钥梢詫?duì)產(chǎn)品造成污染從而最終損壞該產(chǎn)品，所以該項(xiàng)測(cè)試是也是DI水非常重要的測(cè)試之一。測(cè)試結(jié)果一般是以每升水中含有多少微克的硅做為判定標(biāo)準(zhǔn)(ug/L)。該測(cè)試方法依據(jù)ASTM D5673和D3919進(jìn)行測(cè)試。對(duì)于測(cè)試結(jié)果的理解，需要特別作出說明，如果測(cè)試結(jié)果顯示沒有硅油，這并不是表示DI水中不存在硅油，而是測(cè)試結(jié)果沒有超出測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)中的敏感線（值）。
6、離子測(cè)試（Ionic content）
該測(cè)試也是DI水非常重要的測(cè)試之一，主要監(jiān)控DI水中各種陰陽離子的含量，測(cè)試結(jié)果一般用總量不超過多少微克來判定（ug/ml）。比較常見的離子有：氯離子、鐵離子、鈉離子、硝酸根離子、硫酸根離子、鈣離子等。
7、金屬離子測(cè)試（Metal content test ）
該測(cè)試主要監(jiān)控DI水中的金屬離子的含量，測(cè)試結(jié)果一般用般用總量不超過多少微克來判定（ug/ml）。比較常見的離子有：鉀離子、鐵離子、鈉離子、鎂粒子、鈣離子等等。監(jiān)控金屬離子是用來評(píng)估水的硬度是否合適。
8、溶解氧測(cè)試（Dissolved Oxygen）
該測(cè)試主要是監(jiān)控DI水中活性氧的含量，因?yàn)樗泻趿窟^高，會(huì)加速其它物質(zhì)的氧化反應(yīng)從而影響到終端產(chǎn)品。其結(jié)果評(píng)估一般看每升水中含有多少微克的活性氧（ug/l）。可以參考ASTMD5391進(jìn)行控制和測(cè)試。
綜上所述，我們對(duì)DI水進(jìn)行各種不同類型的測(cè)試，其最終目的是為了終端產(chǎn)品的要求，根據(jù)不同產(chǎn)品類型可以有不同的測(cè)試項(xiàng)目和要求，以上幾個(gè)方面的測(cè)試是最常用的幾種測(cè)試方法。其它的如毒素測(cè)試（Endotoxin test），可溶解硅的測(cè)試（Dissolved silica test），總有機(jī)碳測(cè)試（TOC）等也時(shí)有用到。 純水設(shè)備，實(shí)驗(yàn)室純水設(shè)備，蘭州去離子水設(shè)備，蘭州水處理設(shè)備，超純水設(shè)備，醫(yī)用GMP純化水設(shè)備。銀川純水設(shè)備。
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